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中科院微电子研究所导师介绍:韩郑生

所属部门
  硅器件与集成技术研究室(一室)
  简历
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  研究方向:
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  学科类别:
  社会任职:
  获奖及荣誉:
  “亚30纳米CMOS器件相关的若干关键工艺技术研究”获2005年国家技术发明二等奖;“高性能栅长27纳米CMOS器件及关键工艺技术研究”获2004年北京市科学技术一等奖;“0.18/0.1微米CMOS集成电路关键技术研究”获2004年北京市科学技术二等奖。
  代表论著:
  翻译专著《半导体制造技术》1部,参与编写《SOICMOS技术及其应用》第6章科学出版社,《中国材料工程大典》第11卷第3篇第3节化学工业出版社;发表论文100余篇。
  承担科研项目情况:
  负责或参与了多项重要国家科技项目研究。
  973计划项目“纳米尺度硅集成电路器件与工艺基础研究(高性能低功耗新型纳米尺度MOS器件研究)”等。
  备注:
  培养研究生:10余名。
 

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