中科院电子学研究所传感技术国家重点实验室(北方基地)介绍

1. 领域总体介绍

　 传感技术国家重点实验室（北方基地）成立于1987年。实验室面向国家战略需求和世界科技前沿，以基于微电子和微机械加工技术的微传感器和系统作为主要研究方向，开展基础性、战略性、前瞻性的研究工作。实验室致力于提高我国传感技术的自主创新能力和国际竞争力，推动我国传感技术的应用和产业的发展，为国民经济建设服务，并建设我国传感技术的研究基地和高素质、高水平传感技术人才的培养基地。

　 传感技术国家重点实验室（北方基地）侧重进行传感器的新原理、新方法、新技术、新器件、新系统的研究，实现传感器的微型化、集成化、智能化和网络化。实验室自建立以来得到了迅速发展。先后承担和完成了“973”、“863”、国家自然科学基金、国家科技攻关等一批国家级科研项目，在新型传感器和微系统研究领域取得了一批有特色、高水平的创新性研究成果。

2. 主要技术优势

　 传感技术国家重点实验室（北方基地）经过二十余年的建设和奋斗，在微纳传感器及微系统的研究中获得巨大进展，取得了突出成绩，逐步形成了以基于微纳加工技术的微传感器和微系统为主要创新方向的研究特点，具有电子学、信息技术、生物技术、化学、材料科学等多学科交叉的综合优势，并已成为国内外广泛认可、具有一定国际影响力和较强竞争力的传感技术研究基地，同时形成了具有一流人才与完整学术梯队以及先进仪器设备与科研条件的国家级研究基地。

　　实验室现有面积3500多平方米，其中500平米超净间，拥有一条完整的微电子机械系统（MEMS）加工工艺线，具有先进的工艺和测试设备，形成了一整套加工工艺规范，具备各种微结构器件的加工能力。实验室已研制出一批具有特色的高水平传感器及系统，如电场传感器及系统、SPR生化分析仪、生物传感器及系统、气体传感器及系统、微流控芯片系统、集成气象传感器、高精度压力传感器、微惯性传感器等，具有雄厚的研究基础和很强的技术攻关与自主创新能力。

3. 主要的科研工作

（1）微电子机械系统（MEMS）加工与封装技术
（2）实验室芯片（Lab-on-Chip）与微全分析系统（µTAS）
（3）生物微传感器集成化芯片系统（SOC）
（4）多参数血液检测微系统
（5）表面等离子体谐振（SPR）生化分析仪
（6）危化品检测气体传感器
（7）污染监测生化微传感器
（8）便携式离子迁移率谱仪（IMS）
（9）电场传感器
（10）高精度压力传感器
（11）微型加速度传感器和陀螺仪
（12）温湿压集成气象传感器
（13）新型集成光学传感器
（14）无线传感器网