中科院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室介绍

　　传感技术国家联合重点实验室经国家计委批准于1987年成立，1989年通过国家验收，是我国传感技术领域最早建立的国家重点实验室。现任实验室主任为李昕欣研究员；学术委员会主任为方家熊院士。

　　实验室由南北两个基地及四个专业点组成，实验室管理办公室设在中科院上海微系统与信息技术研究所。第一依托单位为中科院上海微系统与信息技术研究所。实验室于1993年、1997年、2002年和2007年四次通过国家评估。

　　实验室的主要研究领域是以微电子技术和微纳加工技术为基础的微纳传感器及微系统。实验室重点研究基于新原理、新材料、新方法、新技术的核心传感技术和高性能传感器，发展集成化、智能化、网络化传感器系统，突破加工、封装与系统集成等关键技术，以满足国防、航天、工业、医疗等领域对传感技术的迫切需求。实验室主要研究方向包括：

　　1.传感器原理、设计和制造技术

　　各种物理量传感器，包括加速度、角速度等惯性传感器，压力传感器；生物化学量的气体传感器等。

　　2.MEMS传感器和微纳制造技术

　　3.纳机械加工技术、纳米集成传感器与纳机电系统技术

　　4.微传感系统

　　生化检测微系统；传感器与电路集成系统。

　　5. 集成传感器系统

　　传感器专用集成电路设计；微传感器信号检测与处理电路；多传感器集成系统和组件。

　　6.传感器网络节点

　　实验室建设至今20多年来，先后主持国家攀登B计划项目、三个“973”项目以及“七五”至“十一五”国家多项重要科研项目，开展了微纳传感器和微纳电子机械系统（MEMS/NEMS）加工技术及器件研究，如在国内首次研制成功微型静电晃动马达、微型谐振子、压阻型微陀螺，高冲击加速度传感器，高精度谐振压力传感器，真空微电子压力传感器以及微机械红外热堆阵列等器件；近几年来，实验室又在微纳悬臂梁传感器、基于自组装的微纳敏感器件等方面做出了创新性的工作。实验室牵头先后承担了本领域的两个973项目；在传感技术领域的国家自然科学基金项目中，实验室负责承担了4项重点项目和1项国家杰出青年基金项目等，并负责承担了多项863项目，在我国传感技术领域的应用基础研究方面处于领先地位，发挥了引领骨干作用。

　　实验室在微纳制造技术和新型传感器研究方面已经具有一定的国际影响，在多种MEMS传感器、微纳加工与自组装技术、生化检测与分析系统等研究方面，处于国际先进和国内领先水平。在本领域的著名学术刊物如IEEE J-MEMS、JMM和Sensors and Actuators等和论文高选择性的学术会议如IEDM、IEEE MEMS和Transducers等发表了一批高水平的论文及若干邀请报告。实验室在国内外学术活动中发挥了积极的作用，有多名专家在国内外重要学术组织的中任职。

　　实验室目前主要的固定研究人员近35人，其中研究员9名。实验室内人才济济，有973首席科学家、国家杰出青年基金获得者和“百人计划”终评优秀获得者等。

　　实验室具有一流的设备和开放的加工工艺平台，并通过实验室开放课题等多种方式与国内多家单位合作，充分发挥了国家重点实验室在本领域发展中的支撑作用，并为国家培养了一批传感技术的专门人才。联合重点实验室目前依托的主要支撑条件包括：上海微系统所微系统加工平台中一楼800平方米的四英寸芯片加工净化线和二楼一部分约200平方米的传感器封装技术净化室，还有传感器CAD、测试室和重点实验室办公室900平方米用房。

　　在依托单位的有利支持下，实验室将始终以国家需求为目标，发挥多学科交叉优势，努力成为具有一定国际影响力、能够满足国家传感技术领域需求的微纳传感器及微系统的研发平台。