上海交通大学微纳科学技术研究院简介

　　上海交通大学微纳科学技术研究院系学校直属研究院，是专门从事微米纳米科学与技术基础和应用基础研究，以原创性成果和经济建设为目标，开展以非硅微细加工与微机电系统（MEMS）、纳米生物医学、纳米电子学与器件的制造技术为主要研究方向的多学科研究平台。学科交叉明显，研究条件先进，具有较强的科技攻关和较高的学术水平。目前设有“微电子学与固体电子学”和“纳米材料科学与工程”博士点，“微电子学与固体电子学”硕士点，招收和培养来自不同学科的硕士、博士、博士后，设有“薄膜与微细技术”教育部重点实验室、“微米纳米加工技术”国家级重点实验室。是学校“211”一期、“211”二期、“985”一期重点投资建设单位之一。
研究院位于上海交通大学闵行校区综合实验楼。

　　自上世纪九十年代中期起，研究院系统地开展微机电系统、三维非硅微加工技术和单电子器件等方向的应用基础研究，随后，相继开展纳米电子学及器件、纳米探测器和传感器、碳纳米管、碳化硅晶须和复合材料、各种纳米薄膜、纳米超顺磁性颗粒、纳米超顺磁性复合微球、树形分子、金纳米粒子等方向的基础理论及应用技术研究，取得了一系列国内先进水平的科研成果和重要进展：主要在非硅材料的三维微细加工技术中，兆声波显影技术、深层微盲区小孔电铸技术、微复制技术等微制造技术处于国内领先，成为国内三维非硅材料重要加工和研究基地之一；直径1mm和2mm的电磁型微马达、重量0.1克的微型直升飞机、模数0.03直径2mm的微行星齿轮减速器、MEMS密码锁、形状记忆合金薄膜驱动的微泵，单电子特性的原理型晶体管，金刚石镀层技术，纳米碳管制备及排布技术、纳米传感器制备及集成技术、纳米压印曝光技术；纳米超顺磁性材料可控设备技术、磁热疗技术、材料表面分子设计与修饰等，其中“实用电磁型微马达关键技术研究”获2000年国家技术发明二等奖、“原位复合法抗紫外聚酯纤维”和“MEMS强链及其应用研究”获2006年教育部技术发明一等奖、“同步辐射空间姿态可调连续变焦超长准直和聚焦系统”获2006教育部科技奖专利发明一等奖。

　　研究院所属实验室面积为5000m2，其中净化面积1400m2，主要设备：高真空纳米薄膜溅射系统、多靶磁控溅射系统、双面光刻机、反应离子刻蚀仪、扫描电子显微镜、电化学分析仪、等离子增强化学气相沉积仪、电子束蒸发沉积设备、真空热压机、俄歇电子能谱仪、表面轮廓仪、氧化扩散炉、4吨18兆去离子水系统、高效液相色谱仪、荧光分光光度计、Zata电位分析仪等设备构成微器件与微系统研究和纳米生物医学与纳米器件研究的主要装备。

　　研究院有中科院院士一名，兼职院士二名、长江学者一名，校特聘教授一名、教授（包括研究员3名）14名，副教授14名，博士生导师10名，兼职博士生导师4名；通过来自物理、化学、材料、电子、计算机、精密机械、自动化、生物等学科的多年凝炼与融合，已形成一支多学科交叉的学术和研究队伍。