上海技术物理研究所硅器件研究室介绍

　　硅器件研究室是我所红外成像材料与器件重点实验室的所属部门，主要从事硅基光电器件技术的研究和开发，是上海技术物理所航天遥感用硅探测器及读出电路设计研发的主要部门。研究室围绕国家的战略需求，重点开展各种特殊应用的硅基可见、紫外及红外探测器的研究开发，通过自主创新，先后为多项国家重大工程任务研制了实用化产品，形成了有特色的硅器件技术，培养了多名研究生，创造了一批有影响的科研成果。
　　
　　研究室目前有在职职工27人，分为4个课题组。

　　研究室主要研究方向为：

　　1． 航天遥感用PIN光电探测器及组件技术研究；
　　2． APD单光子探测器及其信号处理技术研究
　　3． 低噪声CMOS探测器及低噪声信号处理电路的设计研究；
　　4． 大面阵MOS电阻阵列动态红外景象产生技术研究
　　5． 高灵敏非致冷探测器及非致冷焦平面技术研究
　　6． 各种新型MEMS器件及MEMS工艺研究
　　7． 用于可见光测量、光电控制、微光探测、光电耦合与控制的各类硅光电探测器的研究与开发

　　主要在研项目:

　　1. 气象遥感用系列化可见光硅探测器研制
　　2. 海洋遥感用系列化可见光硅探测器研制
　　3. 硅可见光单光子探测器技术研究
　　4. 空间遥感用非致冷红外焦平面研制
　　5. MOS电阻阵动态红外产生器件研制
　　6. 用于可见光测量、光电控制、光电耦合的硅光电探测器研究与开发

　　研究成果: 128×128MOS电阻阵动态红外景象转换器

　　仪器设备与实验条件

　　1． 设计：CAD工作站及数模混合电路设计系统
　　2． 工艺：一条完整的3英寸硅光电探测器研发净化工艺线
　　3． 工艺测试：完整配套的工艺参数测试设备
　　4． 性能测试：硅光电探测器及信号处理电路测试系统
　　5． 可靠性研究：依托研究所的各种可靠性试验设备

　　  产品介绍:

　　1. 多种航天用pin型可见光硅探测器
　　2. 可用于分光光度计、医用分析仪器、紫外光照度计、指纹设别以及河水污染检测的各类民用可见光单元、多元探测器
　　3. 民用紫外单元探测器
　　4．128×128元电阻阵列动态红外景象产生器
　　6． 单元、多元及线列非致冷红外探测器

　　红外成像材料与器件重点实验室副主任兼硅器件研究室主任：
　　
　　陈永平 博士 硕士导师
　　马 斌：副主任