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中国科学院苏州纳米所导师介绍:王敏锐


  王敏锐,男,副研究员,硕士生导师。

  个人简介:
  2006年12月毕业于大连理工大学机械工程学院,获机械电子工程专业博士学位。攻读博士期间主要从事压电式微纳机电系统技术研究,是国家自然科学基金重点基金“适用于SOC的声、热、力传感器系统”,国家自然科学基金项目“甲醛气体传感器研制及特性研究”的主要参与人。发表压电微传感器/执行器、半导体制程工艺方面论文8篇(SCI/EI收录5篇)。在从事半导体制程中的湿制程工艺、氧化扩散、光刻、溅射及刻蚀方面,压电薄膜制备及其微纳传感器/执行器设计制备方面,已经具有超过5年的研究经验。目前就职于苏州纳米所纳米加工平台,主要从事大功率LED散热技术、压电微纳米光机电系统的研究。

  拟招生方向:
  光电子器件、MOEMS/NOEMS

  联系方式:
  Tel:*************
  E-mail:mrwang2007@sinano.ac.cn

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