中科院电工研究所微纳加工技术研究部介绍

　　本研究部主要从事电子束微纳加工技术的研究，发展具有自主知识产权的专有技术，为我国微细加工设备的研究开发提供战略性技术储备，同时探索微纳米加工技术在微机电系统和生命科学仪器中的应用。主要研究方向有：缩小投影电子束曝光技术、DAN生命科学仪器、先进光刻技术、半导体装备关键技术、微纳加工和光学检测技术、MEMS器件和微型仪器设计。

　　中国科学院电工研究所微纳加工实验室电子束曝光技术组主要从事微米、纳米尺度下微细加工技术的研究，发展在微米、纳米尺度下具有自主知识产权的专有技术，从而为我国微细加工设备的研究开发提供战略性技术储备。

　　中国科学院电工研究所电子束曝光技术组是国家级专门从事电子束曝光技术研究的课题组，本课题组科研人员致力于涉及电子束曝光技术领域的专用设备的开发和研制。目前的科研工作方向主要有：纳米级电子束曝光机开发和研制、微机电系统开发和研制、DNA生命科学仪器开发和研制、扫描探针显微镜系统的开发和研制。

　　本课题组自70年代末开始研究电子束曝光技术，并先后研制成功了国际上微电子专业设备发展中最重要的四类电子束曝光机：“六五”、“七五”期间研制成功了我国第一台微米级可变矩形电子束曝光机；“八五”期间实现了微米级可变矩形电子束曝光机在微电子生产线上的实用化；“九五”期间研制成功我国第一台 0.1um电子束曝光实验样机；1999年课题组承担了“缩小电子束投影曝光系统”的项目，经过两年多的不断努力课题组完成了缩小电子束曝光系统的研制工作，该系统是国际上的第三套同类型的装置（另外两套分别由IBM和BELL实验室完成）

　　课题组在长期发展过程中建立了一整套以微细加工为目的的微细加工设备组和一个800平方米净化实验室。同时也拥有了一支掌握机械、真空和电子学等基础学科知识并使学科知识应用于实际工作中的科研队伍。目前课题组科研人员利用现有的电子束制版机为国内的科研机构和大专院校提供掩模板制作工艺等教学服务工作，国内的上百家科研用户受益于该课题组的科研教学服务。该课题组现有科研人员20名，其中高级职称人员6名，研究生24名。这是一支在首席科学家顾文琪研究员领导下的优秀研究队伍，这支队伍和实验室在国家“十五”期间承担了院知识创新重大项目“纳米电子束曝光系统实用化”和其他的一些课题并且取得了良好的科研成果。

　　微纳技术及应用研究组是“电气工程”一级学科下设立的“微纳电工技术”二级学科研究单元，目前负责人为刘俊标副研究员。作为电工研究所微纳加工研究部的重要组成部分，研究组以国家的重大需求为导向，探索微纳米技术在科学研究和工程技术中的应用，在相关的应用领域开展新概念、新方法、新技术方面的前瞻性和基础性研究，研究的重点集中在微纳检测技术，微纳操作技术，微能量转换技术等方面。

　　研究组自将立足知识创新和技术创新，结合研究所制定的能源、电力安全和电工理论新技术两大领域发展战略目标，将微纳技术的应用拓展到信息、能源、电力、生命科学和医药健康等传统学科，以满足半导体产业、信息通信、清洁能源、环境保护、新材料和卫生保健等领域对微纳技术日益增强的需求，为建设资源节约型和环境友好型社会做出应有贡献。