华中科技大学工艺设备及自动化系导师介绍：甘志银

姓名：甘志银
电话：************
职称：教授
邮箱：ganzhiyin@126.com

►个人基本情况：
华中科技大学教授。1987在天津南开大学物理系取得学士学位，1990年在北京工业大学应用物理系取得硕士学位。1992年到2002年，先后在北京、深圳以及武汉工作并从事光电领域研究。2003年6月调入华中科技大学机械科学与工程学院以及武汉光电国家实验室成为副教授，同时开始攻读博士学位。于2008年被授予物理电子学博士学位，2010年成为教授。目前主要从事计算物理、MEMS/NEMS系统设计及仿真、MEMS制造工艺与设备、半导体工艺设备设计与制造等研究。作为技术带头人主导的MOCVD设备已获得广东省科技厅科技成果鉴定“国际先进”评价，该设备也已进入产业化阶段，实现了市场突破。

►主要研究方向：
微纳材料与器件设计与仿真
半导体工艺装备设计与制造

►开设课程：
微机电系统基础与应用
微纳系统仿真
工程光学
量子力学

►承担的科研项目：
MOCVD新型反应腔设计、LED缺陷抑制和量子效率调控（“973计划”2011CB013100-G子课题）2011.11-2016.11国家科技部（720万）
半导体照明用生产型MOCVD设备的自主研制（2009A011602004）2009.10-2012.02广东省科技厅（150万）
高产能智能MOCVD设备的研制及产业化（2011A081301007）2011.11-2013.11广东省科技厅（2000万）
基于定向生长CNT电磁对准的感应热压键合技术研究51075171国家自然科学基金面上项目2011.01-2013.12(22.8万)
面向跨微纳尺度MEMS设计的建模仿真平台研究2007AA04Z348863先进制造领域2007.12-2009.8(39万)
100lm/W功率型白光LED研究和产业化2008AA03A184863先进制造领域2009.01-2012.12(40万)
荣誉与奖励：
2006年华中科技大学优秀青年教工

►代表性著作：
ZhiyinGan,DexiuHuang,XuefangWang,DongLin,ShengLiu.“GetterfreevacuumpackagingforMEMS”,SensorsandActuatorsA:Physical,149(1),2009:159~164.
TingkaiZhang,HonghaiZhang,JianXu,ShengLiu,ZhiyinGan.“Studyontriple-stackanodicbondingusingtwoelectrodes”,SensorsandActuatorsA:Physical,157(1),2010:168~172.
HuiCao,ZhiyinGan,QiangLv,HanYan,XiaobinLuo,XiaohuiSongandShengLiu.“Single-walledcarbonnanotubenetwork/polycompositethinfilmforflowsensor”,MicrosystemTechnologies,16(6),2010:955~959.
C.MingXiang,Y.Xingjian,G.ZhiyinandL.Sheng."ReliabilityofAnodicallyBondedSilicon－glassPackages",SensorsandActuators,120(1),2005:291~295.
SongX.H.,GanZ.Y.,LiuS.,YanH.,andLvQ.(2009),“Computationalstudyofthermocompressionbondingofcarbonnanotubestometallicsubstrates,”JournalofAppliedPhysics106:104308.
SongX.H.,GanZ.Y.,LiuS.,YanH.,andLvQ.(2009),“Controllablefabricationofcarbonnanotube-polymerhybridthinfilmforstrainsensing,”MicroelectronicEngineering86:2330-2333.
SongX.H.,LiuS.,YanH.,andGanZ.Y.,(2009),“First-principlesstudyoneffectsofmechanicaldeformationonoutersurfacereactivityofcarbonnanotubes,”PhysicaE41:626-630
Wang,P.,Gan,Z.Y.andLiu,S.(2009),“ImprovedlightextractionofGaN-basedlight-emittingdiodeswithsurface-patternedITO,”Optics&LaserTechnology41:823-826.
Gan,Z.Y.,Yan,H.,Song,X.H.,Lv,Q.,Cao,H.,Xu,J.P.,Liu,S.(2009)“ApplicationofCar-ParrinelloMolecularDynamicstoGa-richGaNBufferLayerforStressRelaxationinGaNGrownLayer,”InternationalJournalofNonlinearSciencesandNumericalSimulation.10(5):557-562.
Yan,H.,Gan,Z.Y.,Song,X.H.,Chen,Z.H.,Xu,J.P.,Liu,S.(2009),“Adsorptionconfigurationofmagnesiumonwurtzitegalliumnitridesurfaceusingfirst-principlescalculations,”PhysicaB404:3594-3597.
Yan,H.,Gan,Z.Y.,Song,X.H.,Lv,Q.,Xu,J.P.,Liu,S.(2009),“Car-Parrinellosimulationofinitialgrowthstageofgalliumnitrideoncarbonnanotube,”PhysicaE41:1143~1146.