中科院声学研究所研究生招生导师简介——李俊红

　　李俊红 男 声学研究所

　　电子邮件：ljh@mail.ioa.ac.cn

　　通信地址：北京市北四环西路21号中科院声学所三部一室

　　邮政编码：100190

　　电话：************

　　研究领域

　　声学与振动MEMS：微电子机械系统（Micro Electro-Machanical System）,简称MEMS是由微传感器、微执行器、信号处理、控制电路以及通讯接口等组成的集信号采集（感知）、信号处理和执行、显示和控制为一体的微型集成系统。具有成本低、功耗低、集成度高等优点。在生物医学、化工、通讯、国防、机械、自动控制、汽车工程、安全保密系统等方面都有广阔的应用前景。声学与振动MEMS的主要研究包括，硅微传声器、微机械超声换能器、微压力传感器、MEMS水听器、薄膜体声波谐振器等。

　　功能薄膜材料和器件：主要研究高性能铁电、压电、磁致伸缩等功能薄膜材料及其器件。

　　招生信息

　　招生专业

　　081002-信号与信息处理

　　085208-电子与通信工程

　　招生方向

　　声学与振动MEMS，压电薄膜和器件

　　教育背景

　　2004-09--2009-07 中国科学院声学研究所 博士

　　1999-09--2002-03 北京理工大学机械工程与自动化学院 硕士

　　1995-09--1999-07 北京理工大学机械工程与自动化学院 学士

　　工作经历

　　工作简历

　　2007-01--今 中国科学院声学研究所 副研究员

　　2005-04--2007-01 中国科学院声学研究所 助理研究员

　　2002-04--2005-04 中国科学院声学研究所 研究实习员

　　专利与奖励

　　专利成果

　　申请发明专利13项，其中授权11项：

　　（1） 一种图形化锆钛酸铅铁电薄膜的剥离制备方法，发明，2009，第1作者，专利号：CN200610112678.4 （授权）

　　（2） 一种图形化铂/钛金属薄膜的剥离制备方法，发明，2009，第1作者，专利号：CN200610112676.5 （授权）

　　（3） 一种软支撑桥式硅微压电超声换能器及其制备方法，发明，2011，第1作者，专利号：CN200910078945.4 （授权）

　　（4） 一种软支撑桥式硅微压电传声器及其制备方法，发明，2012，第1作者，专利号：CN200910078947.3 （授权）

　　（5） 一种软支撑悬臂梁式硅微压电传声器及其制备方法，发明，2011，第1作者，专利号：CN200910078946.9 （授权）

　　（6） 一种电极串联式硅微压电传声器，发明，2012，第3作者，专利号：CN200810227950.2 （授权）

　　（7） 一种硅微压电式传感器芯片及其制备方法，发明，2008，第3作者，专利号：CN200410098844.0 （授权）

　　（8） 基于铁电PZT膜面内极化工作的硅微压电传声器及其制备方法，发明，2012，第3作者，专利号：CN200810227949.X （授权）

　　出版信息

　　发表论文

　　发表论文30余篇，代表性论文如下：

　　(1) Micromachined Ultrasonic Transducers Based on Lead Zirconate Titanate (PZT) Films，Microsystem Technologies，2013，第1作者

　　(2) Effect of Annealing Process on Properties of Pb (Zr0.52Ti0.48)O3 Thin Films Prepared by Sol-Gel Method，FERROELECTRICS，2013，第1作者

　　(3)  基于圆形振动膜的MEMS压电传声器研究，机械工程学报，2012，第1作者

　　(4) Pt/Ti electrodes of PZT thin films patterning by novel lift-off using ZnO as a sacrificial layer.，Chinese Physics Letters，2008，第1作者

　　(5) 衬底和O2/Ar气体比例对ZnO薄膜结构及性能的影响，功能材料，2008，第1作者

　　(6) PZT薄膜的制备及其与MEMS工艺的兼容性研究，半导体学报，2006，第1作者

　　(7) Design and Fabrication of a Novel PZT Films Based Piezoelectric Micromachined Ultrasonic Transducers，2009 International Conference on Measuring Technology and Mechatronics Automation，2009，第1作者

　　(8) Fabrication of Silicon Based PZT Films Compatible with MEMS，The Proceedings of the China Association for Science and Technology，2007，第1作者

　　(9) 圆形复合振动膜硅微压电传声器的研制，声学技术，2007，第1作者

　　(10) 适用于压电硅微传声器的PZT压电薄膜的研制，声学技术，2008，第1作者

　　(11)不同厚度ZnO薄膜取向和应力的研究，压电与声光，2009，第1作者

　　(12)Design of MEMS Piezoelectric Vector Hydrophone，Key Engineering Materials，2013，第2作者

　　(13) Design and Fabrication of a MEMS Lamb Wave Device Based on ZnO Thin Film，Chinese Journal of Semiconductors，2011，第2作者

　　(14) Ｓｏｌ－Ｇｅｌ法制备ＰＺＴ粉体的工艺研究，压电与声光，2012，第2作者

　　(15) Development and Analysis of A RF Film Bulk Acoustic Resonator，Chinese Journal of Semiconductors，2008，第2作者

　　(16) 应用于体声波谐振器的ZnO薄膜结构和电学特性，功能材料与器件学报，2008，第2作者

　　(17) 圆形振动膜ZnO压电微传声器的研制，应用声学，2006，第2作者

　　科研活动

　　作为项目负责人承担了国家自然基金面上项目、中科院知识创新工程青年人才领域前沿项目、所长基金、所创新项目子课题等研究项目，并先后参加了国家自然科学基金重点项目、863、中国科学院重点、重大项目等研究课题。

　　在研项目

　　（1） MEMS压电矢量水听器，参与，国家级，2012-01--2015-12

　　（2） 微声学与超声阵列成像，参与，研究所（学校）级，2011-07--2015-12

　　（3） MEMS压电矢量水听器研究，主持，研究所（学校）级，2011-06--2013-06

　　（4） 基于PZT薄膜的硅微压电超声换能器研究，主持，国家级，2011-01--2013-12